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硅片回收的切片、退火、倒角

信息来源:www.metalygomez.com   2022-06-13 10:45:22

    硅片回收(shou)是新能源回收(shou)利用由(you)相关机构回收(shou)废或过期原生(sheng)多晶(jing)硅,125太阳能单(dan)晶(jing)电池片,156太阳能多晶(jing)片(整片,碎(sui)片),抛光(guang)片,头(tou)尾料,半导体(ti)硅片,及稀(xi)有(you)金属硅片回收(shou)工艺流程具体(ti)介绍如下: 
    切片(pian):将单(dan)晶硅(gui)棒切成(cheng)具有几何尺寸的(de)薄硅(gui)片(pian)。此过程中产(chan)生(sheng)的(de)硅(gui)粉采用水淋,产(chan)生(sheng)废水和硅(gui)渣。 
    退火(huo):双工位热(re)氧化炉经氮气(qi)(qi)吹扫(sao)后,用(yong)红外加热(re)至300~500℃,硅(gui)片(pian)表面和氧气(qi)(qi)发生(sheng)反应,使(shi)硅(gui)片(pian)表面形成二(er)氧化硅(gui)保护(hu)层。
    倒角:将退火的硅片进行修整成圆弧形,防止硅片边缘破(po)裂及晶(jing)格缺陷(xian)产(chan)(chan)生,增加(jia)磊晶(jing)层及光阻(zu)层的平坦度。此过(guo)程中产(chan)(chan)生的硅粉采用水淋(lin),产(chan)(chan)生废(fei)水和硅渣。
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